Voir la notice de l'article provenant de la source Math-Net.Ru
[1] Danilin B. S., Primenenie nizkotemperaturnoi plazmy dlya naneseniya tonkikh plenok, Energoatomizdat, M., 1989
[2] Aksenov I. I., Andreev A. A., Bren V. G. i dr., “Pokrytiya, poluchennye kondensatsiei plazmennykh potokov v vakuume (sposob kondensatsii s ionnoi bombardirovkoi)”, Ukrainskii fizicheskii zhurnal, 24:4 (1979), 515–525 | MR
[3] Barvinok V. A., Bogdanovich V. I., Fizicheskie osnovy i matematicheskoe modelirovanie protsessov vakuumnogo ionno-plazmennogo napyleniya, Mashinostroenie, M., 1999
[4] Andreev A. A., Gavrilko I. V., Kunchenko V. V. i dr., “Issledovanie nekotorykh svoistv kondensatov $\mathrm{Ti}$-$\mathrm{N}_2$, $\mathrm{Zr}$-$\mathrm{N}_2$, poluchennykh osazhdeniem plazmennykh potokov v vakuume (sposob KIB)”, Fizika i khimiya obrabotki materialov, 1980, no. 3, 64–67
[5] Moiseev V. F., Fuks-Rabinovich G. S., Dosbaeva G. K. i dr., “Vyazkost i plastichnost ionno-plazmennykh pokrytii iz nitrida titana”, Zavodskaya laboratoriya, 56:1 (1990), 57–59
[6] Byakova A. V., “Vliyanie strukturnogo sostoyaniya pokrytii iz nitrida titana na ikh prochnost”, Sverkhtverdye materialy, 1992, no. 5, 30–37
[7] Betsofen S. Ya. Petrov L. M., Lazarev E. M. i dr., “Struktura i svoistva ionno-plazmennykh pokrytii $\mathrm{TiN}$”, Metally, 1990, no. 3, 158–165
[8] Vershina A. K., Izotova S. D., Pleskachevskii I. Yu. i dr., “Struktura i zaschitnye svoistva titanovykh pokrytii, poluchennykh iz separirovannykh potokov nizkotemperaturnoi plazmy”, FKhOM, 1994, no. 2, 53–58
[9] Tatsuya Matsue, Takao Hanabusa, Yasuhiro Miki, “Residual stress in $\mathrm{TiN}$ film deposited by arc ion plating”, Thin Solid Films, 343–344 (1999), 257–260 | DOI
[10] Taran V. S., Nezovibatko Yu. N., Marinin V. G. i dr., “Abrazivnyi iznos $\mathrm{Ti}$-pokrytii s razlichnym soderzhaniem azota”, Vakuumnye tekhnologii i oborudovanie, Sb. dokl. 4 Mezhd. konf., Kharkov, 2001, 258–261
[11] Ming-Hua Shio, Fuh-Sheng Shieu, “A formation mechanism for the macropartiecles in arc ion-plated $\mathrm{TiN}$ films”, Thin Solid Films, 386 (2001), 27–31 | DOI
[12] Umanskii Ya. S., Skakov Yu. A., Ivanov I. A., Kristallografiya, rentgenografiya i elektronnaya mikroskopiya, Metallurgiya, M., 1982 | Zbl
[13] Smolanov N. A., Grishaev Vl. Ya., Denisov B. N., “Spektralnyi analiz plazmy pri poluchenii uprochnyayuschikh plenok nitrida titana”, Vakuumnye tekhnologii i oborudovanie, Sb. dokl. 5 Mezhd. konf., Kharkov, 2002, 223–226
[14] Kukushkin S. A., Slezov V. V., Dispersnye sistemy na poverkhnosti tverdykh tel. Mekhanizmy obrazovaniya tonkikh plenok (evolyutsionnyi podkhod), Nauka, SPb., 1996