Geodesic
Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде
Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi, Proceedings of the Sixth All-Russian Scientific Conference with international participation (1–4 June 2009). Part 3, Tome 3 (2009), pp. 138-141.

Voir la notice de l'article provenant de la source Math-Net.Ru

@article{MMKZ_2009_3_a32,
     author = {A. C. Kairakbaev},
     title = {{\CYRS}{\cyrv}{\cyro}{\cyrishrt}{\cyrs}{\cyrt}{\cyrv}{\cyra} {\cyrk}{\cyro}{\cyrerev}{\cyrf}{\cyrf}{\cyri}{\cyrc}{\cyri}{\cyre}{\cyrn}{\cyrt}{\cyro}{\cyrv} {\cyrm}{\cyro}{\cyrd}{\cyre}{\cyrl}{\cyri} {\cyrr}{\cyra}{\cyrz}{\cyrl}{\cyro}{\cyrzh}{\cyre}{\cyrn}{\cyri}{\cyrya} {\cyrt}{\cyre}{\cyrt}{\cyrr}{\cyra}{\cyrh}{\cyrl}{\cyro}{\cyrr}{\cyro}{\cyrk}{\cyrr}{\cyre}{\cyrm}{\cyrn}{\cyri}{\cyrya} {\cyrv} {\cyrt}{\cyrl}{\cyre}{\cyryu}{\cyrshch}{\cyre}{\cyrm} {\cyrr}{\cyra}{\cyrz}{\cyrr}{\cyrya}{\cyrd}{\cyre}},
     journal = {Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi},
     pages = {138--141},
     publisher = {mathdoc},
     volume = {3},
     year = {2009},
     language = {ru},
     url = {http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/}
}
TY  - JOUR
AU  - A. C. Kairakbaev
TI  - Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде
JO  - Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi
PY  - 2009
SP  - 138
EP  - 141
VL  - 3
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/
LA  - ru
ID  - MMKZ_2009_3_a32
ER  - 
%0 Journal Article
%A A. C. Kairakbaev
%T Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде
%J Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi
%D 2009
%P 138-141
%V 3
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/
%G ru
%F MMKZ_2009_3_a32
A. C. Kairakbaev. Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде. Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi, Proceedings of the Sixth All-Russian Scientific Conference with international participation (1–4 June 2009). Part 3, Tome 3 (2009), pp. 138-141. http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/

[1] Blinov L. M., Golovkin A. G., Kaganov L. I., etc., “Tetrochlorosilane Consumption in Radio Frequency Glow Discharge”, Plasma Chem. Plasma Process, 18:4 (1998), 509–533 | DOI