TY  - JOUR
AU  - Yu. Boldyrev
AU  - K. Zamotin
AU  - E. Petukhov
TI  - Modeling of chemical vapor deposition for growth of thin films
JO  - Vestnik Ûžno-Uralʹskogo gosudarstvennogo universiteta. Seriâ Vyčislitelʹnaâ matematika i informatika
PY  - 2012
SP  - 19
EP  - 30
IS  - 1
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/VYURV_2012_1_a1/
LA  - ru
ID  - VYURV_2012_1_a1
ER  -