%0 Journal Article
%A Yu. Boldyrev
%A K. Zamotin
%A E. Petukhov
%T Modeling of chemical vapor deposition for growth of thin films
%J Vestnik Ûžno-Uralʹskogo gosudarstvennogo universiteta. Seriâ Vyčislitelʹnaâ matematika i informatika
%D 2012
%P 19-30
%N 1
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/VYURV_2012_1_a1/
%G ru
%F VYURV_2012_1_a1