TY  - JOUR
AU  - V. Yu. Chebakova
TI  - Numerical simulation of the high-frequency capacitive discharge
JO  - Učënye zapiski Kazanskogo universiteta. Seriâ Fiziko-matematičeskie nauki
PY  - 2015
SP  - 126
EP  - 140
VL  - 157
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/UZKU_2015_157_2_a10/
LA  - ru
ID  - UZKU_2015_157_2_a10
ER  -