TY  - JOUR
AU  - B. F. Farrakhov
AU  - M. F. Galyautdinov
AU  - Ya. V. Fattakhov
AU  - M. V. Zakharov
TI  - Investigation of heating and recrystallization of implanted silicon under pulse light irradiation
JO  - Učënye zapiski Kazanskogo universiteta. Seriâ Fiziko-matematičeskie nauki
PY  - 2010
SP  - 164
EP  - 170
VL  - 152
IS  - 3
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/UZKU_2010_152_3_a23/
LA  - ru
ID  - UZKU_2010_152_3_a23
ER  -