TY  - JOUR
AU  - S. I. Fadeev
AU  - E. G. Kostsov
AU  - D. O. Pimanov
TI  - Numerical study of mathematical models of MEMS resonators of different types
JO  - Sibirskij žurnal industrialʹnoj matematiki
PY  - 2014
SP  - 120
EP  - 135
VL  - 17
IS  - 4
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/SJIM_2014_17_4_a11/
LA  - ru
ID  - SJIM_2014_17_4_a11
ER  -