%0 Journal Article
%A S. I. Fadeev
%A E. G. Kostsov
%A D. O. Pimanov
%T Numerical study of mathematical models of MEMS resonators of different types
%J Sibirskij žurnal industrialʹnoj matematiki
%D 2014
%P 120-135
%V 17
%N 4
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/SJIM_2014_17_4_a11/
%G ru
%F SJIM_2014_17_4_a11