TY  - JOUR
AU  - Jingjie Wang
AU  - D. G. Piliptsov
AU  - A. V. Rogachev
AU  - A. S. Rudenkov
AU  - K. A. Sakhovsky
AU  - S. Yu. Chepkasov
TI  - Influence of deposition conditions on the structure and mechanical properties of a-C coatings
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2024
SP  - 7
EP  - 12
IS  - 4
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2024_4_a0/
LA  - ru
ID  - PFMT_2024_4_a0
ER  -