TY - JOUR AU - S. A. Khakhomov AU - A. V. Semchenko AU - V. E. Gaishun AU - D. L. Kovalenko AU - V. V. Vaskevich AU - K. D. Danilchenko AU - A. A. Maevsky AU - V. V. Malyutina-Bronskaya AU - S. U. Yuldashev AU - V. I. Verlan TI - Low temperature forming processes of nanocomposite films for optoelectronics JO - Problemy fiziki, matematiki i tehniki PY - 2023 SP - 48 EP - 52 IS - 4 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2023_4_a7/ LA - ru ID - PFMT_2023_4_a7 ER -