TY  - JOUR
AU  - H. T. Doan
AU  - D. A. Golosov
AU  - J. Zhang
AU  - N. A. Kananovich
AU  - S. M. Zavadski
AU  - S. N. Melnikov
TI  - Influence of aluminum doping degree on the properties of titanium-aluminum oxide films
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2023
SP  - 74
EP  - 82
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2023_2_a12/
LA  - ru
ID  - PFMT_2023_2_a12
ER  -