%0 Journal Article
%A H. T. Doan
%A D. A. Golosov
%A J. Zhang
%A N. A. Kananovich
%A S. M. Zavadski
%A S. N. Melnikov
%T Influence of aluminum doping degree on the properties of titanium-aluminum oxide films
%J Problemy fiziki, matematiki i tehniki
%D 2023
%P 74-82
%N 2
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2023_2_a12/
%G ru
%F PFMT_2023_2_a12