TY - JOUR AU - Y. V. Nikitjuk AU - A. N. Serdyukov AU - I. Y. Aushev TI - Optimization of the parameters of laser splitting of quartz glass JO - Problemy fiziki, matematiki i tehniki PY - 2021 SP - 21 EP - 28 IS - 4 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2021_4_a3/ LA - ru ID - PFMT_2021_4_a3 ER -