TY  - JOUR
AU  - A. S. Rudenkov
AU  - A. V. Rogachev
AU  - D. G. Piliptsou
TI  - Morphology and phase composition of silicon-doped titanium carbon coatings
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2021
SP  - 37
EP  - 41
IS  - 3
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2021_3_a5/
LA  - ru
ID  - PFMT_2021_3_a5
ER  -