TY - JOUR AU - M. A. Yarmolenko AU - A. S. Rudenkov AU - A. V. Rogachev AU - E. Rusu AU - A. V. Semchenko AU - V. V. Sidsky TI - Electron beam synthesis, structure and properties of single-component and magnesium doped zinc oxide coatings JO - Problemy fiziki, matematiki i tehniki PY - 2020 SP - 81 EP - 87 IS - 4 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2020_4_a13/ LA - ru ID - PFMT_2020_4_a13 ER -