TY  - JOUR
AU  - N. Villa
AU  - D. A. Golosov
AU  - S. N. Melnikov
AU  - T. D. Nguyen
AU  - A. D. Golosov
AU  - E. E. Litvin
AU  - N. N. Lam
TI  - Formation of tantalum oxide films on substrates with a diameter of 200 mm
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2020
SP  - 12
EP  - 17
IS  - 1
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2020_1_a1/
LA  - ru
ID  - PFMT_2020_1_a1
ER  -