%0 Journal Article
%A N. Villa
%A D. A. Golosov
%A S. N. Melnikov
%A T. D. Nguyen
%A A. D. Golosov
%A E. E. Litvin
%A N. N. Lam
%T Formation of tantalum oxide films on substrates with a diameter of 200 mm
%J Problemy fiziki, matematiki i tehniki
%D 2020
%P 12-17
%N 1
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2020_1_a1/
%G ru
%F PFMT_2020_1_a1