TY  - JOUR
AU  - A. P. Dostanko
AU  - D. A. Golosov
AU  - S. M. Zavadski
AU  - S. N. Melnikov
AU  - J. E. Okojie
AU  - J. D. Kotingo
AU  - G. M. Ruban
TI  - Formation of titanium nitride films by reactive magnetron sputtering under low pressure
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2016
SP  - 12
EP  - 17
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2016_2_a1/
LA  - ru
ID  - PFMT_2016_2_a1
ER  -