TY  - JOUR
AU  - A. N. Serdyukov
AU  - S. V. Shalupaev
AU  - Yu. V. Nikitjuk
AU  - A. A. Sereda
TI  - Process research of laser splitting silicon wafers cutout in the plane (110)
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2012
SP  - 37
EP  - 40
IS  - 3
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2012_3_a6/
LA  - ru
ID  - PFMT_2012_3_a6
ER  -