TY  - JOUR
AU  - V. V. Malyutina-Bronskaya
AU  - А. М. Polikanin
AU  - V. B. Zalesskiy
AU  - A. V. Semchenko
AU  - V. V. Sidsky
AU  - V. E. Gayshun
TI  - Synthesis of heterostructures SiO$_2$/ZnO/Si  by sol-gel method
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2011
SP  - 24
EP  - 27
IS  - 3
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2011_3_a3/
LA  - ru
ID  - PFMT_2011_3_a3
ER  -