TY  - JOUR
AU  - D. A. Golosov
AU  - S. N. Melnikov
AU  - S. P. Kundas
AU  - A. P. Dostanko
TI  - Prediction of targets erosion in magnetron sputtering systems
JO  - Problemy fiziki, matematiki i tehniki
PY  - 2010
SP  - 62
EP  - 67
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2010_2_a8/
LA  - ru
ID  - PFMT_2010_2_a8
ER  -