%0 Journal Article
%A D. A. Golosov
%A S. N. Melnikov
%A S. P. Kundas
%A A. P. Dostanko
%T Prediction of targets erosion in magnetron sputtering systems
%J Problemy fiziki, matematiki i tehniki
%D 2010
%P 62-67
%N 2
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/PFMT_2010_2_a8/
%G ru
%F PFMT_2010_2_a8