TY - JOUR AU - R. Hart'anský AU - J. Hricko AU - M. Mierka AU - J. Halgoš AU - M. Dzuriš TI - MEMS Sensor of Force JO - Russian journal of nonlinear dynamics PY - 2020 SP - 85 EP - 92 VL - 16 IS - 1 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/ND_2020_16_1_a6/ LA - en ID - ND_2020_16_1_a6 ER -