TY  - JOUR
AU  - D. M. Mitin
AU  - F. Yu. Soldatenkov
AU  - A. M. Mozharov
AU  - A. A. Vasil'ev
AU  - V. V. Neplokh
AU  - I. S. Mukhin
TI  - Annealing atmosphere influence on contact resistivity of ohmic Pd/Ge/Au contact to n-GaAs
JO  - Nanosistemy: fizika, himiâ, matematika
PY  - 2018
SP  - 789
EP  - 792
VL  - 9
IS  - 6
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/NANO_2018_9_6_a12/
LA  - en
ID  - NANO_2018_9_6_a12
ER  -