TY  - JOUR
AU  - A. E. Atamuratov
AU  - U. A. Aminov
AU  - Z. A. Atamuratova
AU  - M. Halillaev
AU  - A. Abdikarimov
AU  - H. R. Matyakubov
TI  - The lateral capacitance of nanometer MNOSFET with a single charge trapped in oxide layeror at SiO$_2$ -- Si$_3$N$_4$ interfaceat
JO  - Nanosistemy: fizika, himiâ, matematika
PY  - 2015
SP  - 837
EP  - 842
VL  - 6
IS  - 6
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/NANO_2015_6_6_a12/
LA  - en
ID  - NANO_2015_6_6_a12
ER  -