TY  - JOUR
AU  - G. N. Kuvyrkin
AU  - I. Yu. Savelyeva
AU  - A. V. Zhuravsky
TI  - Numerical modelling of vapor phase epitaxy with diffusion processes
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 2017
SP  - 75
EP  - 85
VL  - 29
IS  - 10
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_2017_29_10_a6/
LA  - ru
ID  - MM_2017_29_10_a6
ER  -