%0 Journal Article
%A G. N. Kuvyrkin
%A I. Yu. Savelyeva
%A A. V. Zhuravsky
%T Numerical modelling of vapor phase epitaxy with diffusion processes
%J Matematičeskoe modelirovanie
%D 2017
%P 75-85
%V 29
%N 10
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_2017_29_10_a6/
%G ru
%F MM_2017_29_10_a6