TY  - JOUR
AU  - Yu. E. Gorbachev
AU  - M. A. Zatevakhin
AU  - A. A. Ignatyev
TI  - Numerical simulation of the $\alpha$-Si:H film groth process in PECVD reactors
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 2004
SP  - 28
EP  - 30
VL  - 16
IS  - 6
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_2004_16_6_a5/
LA  - ru
ID  - MM_2004_16_6_a5
ER  -