TY  - JOUR
AU  - L. A. Sevastianov
TI  - The mathematical model of shadowed sputtering
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1998
SP  - 13
EP  - 22
VL  - 10
IS  - 4
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1998_10_4_a1/
LA  - ru
ID  - MM_1998_10_4_a1
ER  -