%0 Journal Article
%A L. A. Sevastianov
%T The mathematical model of shadowed sputtering
%J Matematičeskoe modelirovanie
%D 1998
%P 13-22
%V 10
%N 4
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1998_10_4_a1/
%G ru
%F MM_1998_10_4_a1