TY  - JOUR
AU  - Yu. A. Eremin
AU  - N. V. Orlov
AU  - A. G. Sveshnikov
TI  - Investigation of silicon wafer defects by discrete sources method
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1997
SP  - 110
EP  - 118
VL  - 9
IS  - 8
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1997_9_8_a10/
LA  - ru
ID  - MM_1997_9_8_a10
ER  -