TY  - JOUR
AU  - O. I. Velichko
AU  - F. F. Komarov
AU  - N. M. Lukanov
AU  - A. N. Muchynski
AU  - N. L. Prohorenko
AU  - V. A. Tsurko
TI  - Simulation of impurity diffusion during thermal annealing in the polysilicon-silicon system
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1997
SP  - 68
EP  - 76
VL  - 9
IS  - 5
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1997_9_5_a6/
LA  - ru
ID  - MM_1997_9_5_a6
ER  -