%0 Journal Article
%A O. I. Velichko
%A F. F. Komarov
%A N. M. Lukanov
%A A. N. Muchynski
%A N. L. Prohorenko
%A V. A. Tsurko
%T Simulation of impurity diffusion during thermal annealing in the polysilicon-silicon system
%J Matematičeskoe modelirovanie
%D 1997
%P 68-76
%V 9
%N 5
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1997_9_5_a6/
%G ru
%F MM_1997_9_5_a6