TY  - JOUR
AU  - K. A. Volosov
AU  - L. B. Arkhipenko
TI  - Problem of mathematical modelling of silicon oxidation
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1994
SP  - 68
EP  - 78
VL  - 6
IS  - 9
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1994_6_9_a8/
LA  - ru
ID  - MM_1994_6_9_a8
ER  -