%0 Journal Article
%A K. A. Volosov
%A L. B. Arkhipenko
%T Problem of mathematical modelling of silicon oxidation
%J Matematičeskoe modelirovanie
%D 1994
%P 68-78
%V 6
%N 9
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1994_6_9_a8/
%G ru
%F MM_1994_6_9_a8