TY - JOUR AU - A. F. Stekolnikov AU - O. M. Ivanov AU - A. E. Pereversev AU - D. V. Feschenko TI - Modelling of the kinetics of gas-phase reactions during silicon precipitation JO - Matematičeskoe modelirovanie PY - 1992 SP - 15 EP - 20 VL - 4 IS - 2 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1992_4_2_a1/ LA - ru ID - MM_1992_4_2_a1 ER -