TY  - JOUR
AU  - K. A. Valiev
AU  - H. Zeyfarth
AU  - D. R. Ilkayev
AU  - T. M. Makhviladze
TI  - Modellinc and optimization of the optical schemes of the photolithography systems
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1990
SP  - 56
EP  - 75
VL  - 2
IS  - 1
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1990_2_1_a5/
LA  - ru
ID  - MM_1990_2_1_a5
ER  -