TY  - JOUR
AU  - A. F. Burenkov
AU  - A. I. Kirkovski
AU  - V. A. Tsurko
TI  - Numerical simulation submicron doped regions in semiconductor structures manufacturing
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1990
SP  - 13
EP  - 25
VL  - 2
IS  - 10
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1990_2_10_a1/
LA  - ru
ID  - MM_1990_2_10_a1
ER  -