TY  - JOUR
AU  - A. L. Bogdanov
AU  - K. A. Valiev
AU  - L. V. Velikov
AU  - D. Yu. Zaroslov
AU  - V. A. Nikitaev
AU  - V. E. Tukish
TI  - A~method of data processing for the interferometric control of dissolution of resist film
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1989
SP  - 160
EP  - 164
VL  - 1
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1989_1_2_a9/
LA  - ru
ID  - MM_1989_1_2_a9
ER  -