TY  - JOUR
AU  - M. V. Bochkov
AU  - T. M. Makhviladze
AU  - S. B. Pekarchuk
AU  - B. N. Chetverushkin
TI  - Numerical modelling of etching of polymers in an oxygen-containing atmosphere
JO  - Matematičeskoe modelirovanie
PY  - 1989
SP  - 1
EP  - 13
VL  - 1
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1989_1_2_a0/
LA  - ru
ID  - MM_1989_1_2_a0
ER  -