%0 Journal Article
%A K. A. Volosov
%A V. G. Danilov
%T A~model of thermal silicon oxidation
%J Matematičeskoe modelirovanie
%D 1989
%P 58-67
%V 1
%N 11
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MM_1989_1_11_a5/
%G ru
%F MM_1989_1_11_a5