TY - JOUR AU - A. C. Kairakbaev TI - Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде JO - Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi PY - 2009 SP - 138 EP - 141 VL - 3 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/ LA - ru ID - MMKZ_2009_3_a32 ER -