%0 Journal Article %A A. C. Kairakbaev %T Свойства коэффициентов модели разложения тетрахлорокремния в тлеющем разряде %J Matematicheskoe Modelirovanie i Kraevye Zadachi %D 2009 %P 138-141 %V 3 %I mathdoc %U http://geodesic.mathdoc.fr/item/MMKZ_2009_3_a32/ %G ru %F MMKZ_2009_3_a32