TY  - JOUR
AU  - Alexander V. Efremov
AU  - Sergey G. Ovchinnikov
AU  - Sergey N. Varnakov
AU  - Nikolay N. Kosyrev
TI  - Ellipsometer Mounting System Design Using CAD
JO  - Žurnal Sibirskogo federalʹnogo universiteta. Matematika i fizika
PY  - 2010
SP  - 118
EP  - 124
VL  - 3
IS  - 1
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/JSFU_2010_3_1_a11/
LA  - ru
ID  - JSFU_2010_3_1_a11
ER  -