TY - JOUR AU - A. N. Tikhonov AU - A. V. Goncharsky AU - A. N. Matvienko AU - Yu. M. Platonov AU - D. O. Savin TI - Computer tomography of multilayer electronic devices JO - Doklady Akademii Nauk PY - 1990 SP - 859 EP - 861 VL - 311 IS - 4 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1990_311_4_a19/ LA - ru ID - DAN_1990_311_4_a19 ER -