%0 Journal Article
%A A. N. Tikhonov
%A A. V. Goncharsky
%A A. N. Matvienko
%A Yu. M. Platonov
%A D. O. Savin
%T Computer tomography of multilayer electronic devices
%J Doklady Akademii Nauk
%D 1990
%P 859-861
%V 311
%N 4
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1990_311_4_a19/
%G ru
%F DAN_1990_311_4_a19