TY  - JOUR
AU  - V. P. Ageev
AU  - I. V. Baranenkov
AU  - K. A. Valiev
AU  - L. V. Velikov
AU  - V. I. Konov
AU  - A. I. Maslakov
AU  - V. M. Melnikov
AU  - A. M. Prokhorov
TI  - Application of metal resinate films in electron- and photolithography
JO  - Doklady Akademii Nauk
PY  - 1987
SP  - 1358
EP  - 1362
VL  - 294
IS  - 6
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1987_294_6_a16/
LA  - ru
ID  - DAN_1987_294_6_a16
ER  -