%0 Journal Article
%A V. P. Ageev
%A I. V. Baranenkov
%A K. A. Valiev
%A L. V. Velikov
%A V. I. Konov
%A A. I. Maslakov
%A V. M. Melnikov
%A A. M. Prokhorov
%T Application of metal resinate films in electron- and photolithography
%J Doklady Akademii Nauk
%D 1987
%P 1358-1362
%V 294
%N 6
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1987_294_6_a16/
%G ru
%F DAN_1987_294_6_a16