TY - JOUR AU - Yu. B. Amerik AU - K. A. Valiev AU - L. V. Velikov AU - S. D. Dushenkov AU - T. M. Makhviladze AU - A. M. Prokhorov AU - L. A. Shirokova TI - Direct photo etching of polymers under conditions of macromolecule chain JO - Doklady Akademii Nauk PY - 1985 SP - 1106 EP - 1110 VL - 280 IS - 5 PB - mathdoc UR - http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1985_280_5_a20/ LA - ru ID - DAN_1985_280_5_a20 ER -