%0 Journal Article
%A Yu. B. Amerik
%A K. A. Valiev
%A L. V. Velikov
%A S. D. Dushenkov
%A T. M. Makhviladze
%A A. M. Prokhorov
%A L. A. Shirokova
%T Direct photo etching of polymers under conditions of macromolecule chain

%J Doklady Akademii Nauk
%D 1985
%P 1106-1110
%V 280
%N 5
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1985_280_5_a20/
%G ru
%F DAN_1985_280_5_a20